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深圳市原速光电科技有限公司
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深圳市原速光电科技有限公司
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衬底尺寸：标准尺寸：200mm Dia (8 inch）（可定制)
工艺温度：温度范围：RT~500°C （可定制）
前驱体路数：**支持6路前驱体气路（可定制)，包含固、液态前驱体源瓶
加热系统：可加热温度范围：RT~150℃
反应物路数：支持2路反应物气路（可定制）
载气：标准：N2, MFC 流量控制（可定制）
等离子体系统：支持4路等离子体气体（可定制）
射频功率：0~1000W
压力监测：双薄膜规组合（耐腐蚀)，0.005Torr - 1000Torr
本底真空度：<5x10-3 Torr
真空系统：标准油泵
控制系统：19寸显示器，支持触控工业级嵌入式工控机，高可靠性，支持扩展
操作系统：Win7 操作系统，工业级可编程逻辑控制器，支持现场总线与实时多任务处理操作
高温加热模块：独立的源瓶加热模块，可支持RT~200℃
等离子增强系统的工作原理介绍？等离子增强系统的使用方法？等离子增强系统多少钱一台？等离子增强系统使用的注意事项等离子增强系统的说明书有吗？等离子增强系统的操作规程有吗？等离子增强系统的报价含票含运费吗？等离子增强系统有现货吗？等离子增强系统包安装吗？
企业名称
深圳市原速光电科技有限公司企业类型
有限责任公司（法人独资）信用代码
91440300MA5EQL0C6X法人代表
李哲峰注册地址
深圳市宝安区西乡街道蚝业社区大铲湾蓝色未来科技园二期2栋1层成立日期
2017-09-16注册资本
5000万元人民币有效期限
2017-09-16 至 无固定期限经营范围
一般经营项目是：国内贸易；经营进出口业务。半机械设备销售；机械设备租赁；机械设备研发；新材料技术研发；新材料技术推广服务；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；机械零件、零部件销售；国内贸易代理；功能玻璃和新型光学材料销售；电子专用材料研发；新型催化材料及助剂销售；新型陶瓷材料销售；电子专用材料销售；表面功能材料销售；普通机械设备安装服务。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）；租赁服务（不含许可类租赁服务）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动），许可经营项目是：专用设备制造（不含许可类专业设备制造）；普通机械设备安装服务；通用零部件制造；机械零件、零部件加工；货物进出口；电子专用材料制造；专用设备制造（不含许可类专业设备制造）；通用零部件制造；机械零件、零部件加工。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动，具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准）；物业管理。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动，具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准）
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